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螺杆干式真空泵

螺杆干式真空泵

■概述
螺杆干式真空泵最佳的极限压力完全无油无水,螺杆干式真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,此产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了最佳的真空效率和耐用性。
pinya系列干式真空泵不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。

■优点及特征:
●吸入效率(提升15%)。
●排气效率改善(2级可变,连续可变频率)。
●极限压力:1*10-2Torr(托)。
●排气温度降低50%。
●电力消耗减少30%。
●不使用油和水,不会造成油和水的污染。
●低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。
●设计结构简单,易保养,维修费用低,寿命长。
●适用范围广,具有高真空性能。
●使用寿命长,气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层
(部分工艺可选用特种材质解决腐蚀问题)。
●唇型密封和机械密封等多种密封方式,满足不同的工艺应用。
●前后采用稀有润滑方式,提高轴承耐用性。

■标准配件:
基座和防护罩
排气消声器及进气分离器
吸气口
止回阀
真空计

■可选配件:
吸滤器
排气冷凝器
吸入式气液分离器
流量开关及温度开关

螺杆干式真空泵的应用范围:
●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
● 在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
●工业排气;集中式真空处理系统
●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物
●食品行业用于香料、香精浓缩,食品包装等。

螺杆干式真空泵技术参数:

螺杆干式真空泵技术参数

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