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    进口分子泵抽真空时遇到的常见问题

    责任编辑:品雅真空设备 发表时间:2020-07-29 浏览:94 次
    1. 分子泵的开启,为什么开始抽真空不能直接开动分子泵?

    答:分子泵是依靠大量叶片旋转,将动能传给气体分子,是气体分子获得动能,来达到抽真空效果。只能在高真空下才能正常工作,正常启动需要真空度达到5Pa以下

     

    1. 为什么分子泵不能直接在大气压下工作?

    分子泵是一种机械式增压泵。通过动翼将分子流导入,再通过静翼阻止气体分子的返流,如此将气体分子进行层层压缩,达到抽气效果。分子泵需要前级泵将压力抽至几十Pa时才能启动工作,如果直接暴露在大气压下会导致泵内压力过高,从而碎泵。

     

    1. 请问抽真空时,分子泵控制面板主抽和旁抽有什么区别,作用?

    主抽应该是指分子泵,旁抽估计是预抽,因为分子泵需要预真空。把控制面板图发上来看一看。

     

    1. 当分子泵的前级机械泵的上限为1,为什么会抽到0.1

    全压力:单级油封机械泵,极限能进入10的零次数量级,双级油封机械泵,极限能进入10的负1数量级。

     

    1. 分子泵不设置上下限是不是会尽可能抽到10-4左右?

    分子泵极限能进入10的负6到负8数量级,带管道和容器后要看具体情况,比如放气量和漏气量

     

    6. 为什么启动分子泵时,真空度反而变差了?

    分子泵一般很快就达到100%的转速,在分子泵启动开始后也有真空度一段时间真空会变差一些,大致过一段时间真空度慢慢降低。

    低真空的真空规在机械泵和分子泵之间,开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出,会通过低真空规,导致真空度变差,开一段时间久正常了。

     

    1. 分子泵和机械泵同时对腔室抽真空,会有什么后果?

    是串联还是并联,串联的话真空度会变高流量没啥变化,并联的话流量有变化真空度还是分子泵的真空度。机械泵要先开,不然分子泵要炸机的。

     

    1. 分子泵为什么不能抽低真空?

    分子泵转速在2-3万转并且叶扇加工的非常精密,动叶扇与静叶扇之间的间隙很小,如果在高速运转的情况下直接抽大气,叶扇承受不了空气的猛烈冲击,很容易造成叶扇绞碎而达到报废之功效。

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