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    关于磁控溅射真空设备真空度的问题

    责任编辑:品雅真空设备 发表时间:2020-07-29 浏览:19 次

    一、某客户的磁控溅射设备,直流电源设备:镀膜室+油扩散泵+油封旋片式机械泵
    故障:真空抽的慢,且抽到一定真空度后,示数开始上涨(机械泵及扩散泵都在工作)
    客户设备故障具体描述:
    1.设备正常状态时,粗抽(仅用机械泵抽),示数大概会在十多分钟内降到3.0×10^0Pa左右,一般会低于此示数,大概在2.6×10^0Pa左右;
    开精抽时(用扩散泵和机械泵一起抽真空),示数会在半小时内,一般都是十多分钟,抽到1.3×10^(-2)Pa左右,这时再开加热烘烤,一般会在一个小时多一些(大概一个小时零十多分钟)示数会降到3.5×10^(-3)Pa,烘烤温度对时间和示数,影响不大。
    2.例如,粗抽(仅用机械泵抽真空室)时,当示数降到3.5×10^0Pa后,示数不在下降,维持几分钟后,示数不断上涨,涨到5.1×10^0Pa,就没继续观察了,只是这个现象,示数也未必每次都是相同的,但现象都是差不多的,下降到一定程度,再上涨
    3.例如,精抽(通过扩散泵和机械泵一起抽),抽到2点几×10^(-2)Pa就抽不动了,暂时没观察到示数上涨,对真空室进行加热烘烤,示数开始下降,会讲到-3量级,一般加热到300度,会降到6.2×10^(-3)Pa左右;如果加热到200度,会降到8点几×10^(-3)Pa左右;当示数再次趋于稳定,下降速度极慢时(没等到示数上涨,所以不清楚会不会上涨),关闭加热,温度开始下降,温度下降过程中,示数会继续下降,但是,当温度降到一定程度(大概140到170℃左右),示数不在下降,慢慢的示数开始上涨。
    另外:
    1.在真空度降到-3量级时用酒精检测过,无漏气现象;
    2.若机械泵的抽力不足,是否能解释真空度能下降到一定程度但还会上涨这种现象?
    3.对所有管道及真空室进行过拆卸并擦拭,并无明显的污染源或者油污等.真空室及管道中是否存在放气源呢?

     

    我司建议:1.采用 压升法 检漏。

    2.如果条件允许,测一下泵的抽速和极限。

    3.压力升高是因为释气、解吸的原因。致使进入高真空 E-1 Pa后压力不降反升,

    解决办法:腔体内壁壁面的处理、放入腔体内实验设备的干燥、洁净处理:

    二、客户的磁控溅射设备在一次用吸尘器清理腔体和撤换贴在腔体壁上的锡箔纸后,开机,抽真空,发现电阻真空计一直显示1*10^5,当机械泵抽了一个半小时后(平时15分钟就能到10Pa),开启分子泵,分子泵转到127就自动停下来了,并且这还有一些噪音。后来试了试,发现机械泵抽二十分钟后,过两天,破真空依然要几分钟的时间。这是不是说明不漏气呀?今天换了一个新的电阻规管,发现抽气后,显示9.9*10^4,抽几分钟后显示9.5^104,最后一直显示9.4*10^4,不管机械泵抽多久都这个数。

     

    我司建议在确定电阻规和真空计都正常的情况下,开始:

    1. 先检查机械泵坏没坏,方法:拆掉机械泵电磁阀,开启电源,用手捂一下感觉一下(一般不容易坏),
    2. 如果机械泵没坏,再检查抽气管道,
    3. 如果以上两点都没问题,那就说明腔体有很大的漏洞(应该很大的漏气量,漏点都不太可能),可以根据漏气的声音去寻找外部的漏点。

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