爱德华真空泵 | 联系我们品雅为您提供全系列EDWARDS爱德华真空泵及定制化的真空系统解决方案,干式螺杆真空泵,罗茨真空泵,真空机组,真空泵油,真空泵维修等产品!
欢迎访问:东莞市品雅真空设备有限公司网站 销售电话:13509214664 联系人:许先生
    您的位置:首页 > 常见问题 » Leybold莱宝分子泵安装使用注意事项

    Leybold莱宝分子泵安装使用注意事项

    责任编辑:品雅真空设备 发表时间:2020-04-30 浏览:105 次

    分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

    分子泵的种类也越来越多,应用的行业也越来越多,广泛用于电子零部件、集成电路、太阳能电池、薄膜技术、高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器等方面。但还是会有一些人不太清楚分子泵的安装方法及使用注意事项,下面一起来学习下分子泵安装方法及使用注意事项!

    图片1

    一、安装注意事项:

    ①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

    ②、打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。

    ③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

    ④、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。

    ⑤、确认已装入润滑油。

    ⑥、安装方向:油绳润滑:竖直、水平;

    油润滑:竖直方向±5°范围内;

    脂润滑:任意角度

     

    二、油池安装注意事项

    ①、拆下注油

    ②、油量控制

    ③、油池卫生,防颗粒

    ④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏

     

    三、进出口法兰、冷却水安装

    ①、泵入口:对正、对称拧紧

    ②、泵出口:防止错位

    ③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀

    注意:

    环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃

    入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

     

    四、电缆安装注意事项

    ①、对正槽口插入

    ②、用螺母拧紧,边插边拧

    ③、检查到位

     

    五、振动隔离、冲击防护

    ①、分子泵振动极小,可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便最大可能的减少振动。

    ②、冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑

    机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)

    气体振动(气量突变、压强突变)

    意外振动(掉入异物、碰撞等)

    注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

     

    六、大气载、热气体、突变气载

    a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效

    1. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间

     

    七、磁场屏蔽出现的问题

    旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:

    ①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;

    ②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;

    ③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;

    ④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。

     

    分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

     

    八、分子泵启动的条件:

    ①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

    ②、启动时间:

    同时启动——小系统,防前级泵油上返。

    延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。

     

    九、分子泵使用注意事项:

    1、分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥,电缆线正确连接并确认处于锁紧状态。

    2、分子泵在通电后及正常运转时旋转体是由电磁力支撑悬浮的,请尽.量不要触碰泵体及控制器,特别是电缆线,绝对不能触碰。

    3、当停止分子泵是它,请先给出停机指令( STOP), 待分子泵减速结束,ROTATION 指示灯熄灭(液晶显示屏上显示STOP, 及转速显示为0%),确认分子泵已经完全停止,才可以关闭电源。如需要拆卸缆线,在如前述正常停机并关掉电源后,才可以拆下缆线,分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头。

    4、当遇到意外断电时,分子泵会发生报警( POWER FAILURE ), 此时分子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态,同时减速运行( BRAKE ), 在减速到一定转速时,自发电停止,旋转体掉落( TOUGHDOWN),由保护轴承支撑继续旋转减速直至完全停止。在分子泵旋转体掉到保护轴承时,分子泵会发出比较大的声音,这种情况是正常的。遇到意外断电时,请设法尽快恢复供电,如能在5分钟之内恢复供电,则不会发生TOUGH DOWN,旋转体会恢复悬浮状态,重新启动也可以进行。

    5、当发生人为误操作导致断电时,请及时恢复供电,需要分子泵继续运转时,请按RESET按扭(按第一下,报警蜂鸣器消音,按第二下,报警复位,报警指示等熄灭),之后给出启动( START)指令。

    6、分子泵正常运转时,请尽量避免在泵体及控制器附近施加比较大的或是频繁的震动,避免冲击钻作业和任何会产生较大磁场的作业。

    7、每日点检分子泵及控制器的运行状况,检查真空度和冷却水状况。

    网站首页 | 产品中心 | 走进品雅 | 公司新闻 | 行业新闻 | 常见问题 | 客户案例
    爱德华真空泵二维码
    地址:东莞市寮步镇红茘兴隆路4号工业区 邮编:523426 访问量:20105 次
    品雅真空专业提供爱德华真空泵爱德华真空泵维修爱德华真空泵油等产品,欢迎咨询!
    全国销售电话:13509214664 公司传真:0769-88900801
    版权所有 备案号:粤ICP备17132888号 | 网站地图 | 建站微信:xu9898777
      
    爱德华真空泵qq
    爱德华真空泵qq
    网站顶部