爱德华真空泵 | 联系我们品雅为您提供全系列EDWARDS爱德华真空泵及定制化的真空系统解决方案,干式螺杆真空泵,罗茨真空泵,真空机组,真空泵油,真空泵维修等产品!
欢迎访问:东莞市品雅真空设备有限公司网站 销售电话:13509214664 联系人:许先生
    您的位置:首页 > 爱德华真空泵 » 爱德华真空泵iH160 更新时间:2020-02-29

    爱德华真空泵iH160

    爱德华真空泵iH160

    爱德华真空泵iH160,Edwards 上等半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

    iH 系列爱德华真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

    Edwards 上等半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

    iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

    应用
    负载锁
    输送
    计量
    平版印刷
    PVD 制程
    PVD 预清洁
    RTA
    剥离/灰化
    刻蚀
    植入源
    HDP CVD
    RTP
    SACVD
    MCVD
    PECVD
    LPCVD
    ALD

    有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。

    功能和优势

    优化了设施消耗。
    无需预防性维护。
    悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
    在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
    耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
    较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**保证。
    整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

    技术数据
    峰值速度    165 m3h-1
    97 cfm
    2750 l min-1
    极限真空    1 x 10-2 mbar
    7.5 x 10-3 Torr
    1 Pa
    典型轴封氮流量    4 slm
    进气口连接    ISO63
    出口连接    NW40
    15 psi 压降下典型冷却水流量    120 l h-1
    2 l min-1
    重量    244 kg
    极限功率输入    3.1 kW
    电机额定功率    5.0 kW
    油容量    0.85 l

    所有数字均为无气镇时的典型值。

    网站首页 | 产品中心 | 走进品雅 | 公司新闻 | 行业新闻 | 常见问题 | 客户案例
    爱德华真空泵二维码
    地址:东莞市寮步镇红茘兴隆路4号工业区 邮编:523426 访问量:20487 次
    品雅真空专业提供爱德华真空泵爱德华真空泵维修爱德华真空泵油等产品,欢迎咨询!
    全国销售电话:13509214664 公司传真:0769-88900801
    版权所有 备案号:粤ICP备17132888号 | 网站地图 | 建站微信:xu9898777
      
    爱德华真空泵qq
    爱德华真空泵qq
    网站顶部