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    您的位置:首页 > 爱德华真空泵 » 爱德华真空泵IH80 更新时间:2020-02-29

    爱德华真空泵IH80

    爱德华真空泵IH80

    爱德华真空泵IH80,我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列爱德华真空泵具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。

    应用
    负载锁定
    转换
    计量
    平版印刷
    PVD 制程
    PVD 预清洁
    RTA
    剥离/灰化
    刻蚀
    植入源
    HDP CVD
    RTP
    SACVD
    MCVD
    PECVD
    LPCVD
    ALD

    爱德华真空泵IH80功能与优势
    优化了设施消耗
    无需预防性维护
    悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
    在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性
    耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
    较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证
    轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对消音器的需求,也避免了颗粒堆积,两者均减少了总体占地空间

    泵系列
    实践证明,Edwards 高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

    iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
    iH80
    iH160
    iH600
    iH1000
    iH1800
    iH1800HTX

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