真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。具有的氧化稳定性，长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少有害漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。真空泵油具有优异的防锈防腐蚀性，能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。

真空泵油抗乳化度，真空泵在运转过程中，系统内水分及冷气体会排入泵油中，油及水会形成乳浊液，不仅影响泵油运用寿命也使极限压力变坏。尤其对医药，食品，陶瓷等工业应用真空干燥过程中，泵油抗乳化性能更到关显要。抗乳化性好泵油油水分离能力强，水蒸汽与冷凝气体通过开气镇阀，会排出部分水蒸汽。另外，低粘度泵油抗乳化能力比高粘度油要好。加剂泵油比不加剂泵油效果更为明显。抗泡性，运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出，排出气体会在油层表面产生大量气泡，并从泵排气孔中溢出，造成油品损失与设备污染。加防抗泡剂泵油，在抗泡效果上有明显提升。

氧化安定性，天然矿物油均有其不可避免漏洞，耐热抗氧化性能要比合成油差，泵油成份随热氧化分解极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间下降。但加剂氧化安定性较纯矿物油有明显提升，普通纯矿物油氧化试验法d943为几百小时左右，而加剂d943可增加到1500小时对上。可见其运用寿命得到增加。

真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的特种润滑油，分矿物油和合成油两种。真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。各个泵油牌号是根据泵种类，转速，抽速，运动间隙，极限全压力与极限分压力条件而制订（见表）。粘度指数高泵油其粘度及温度的间变化较少。真空泵在运转过程中，系统内水分及冷气体会排入泵油中，油及水会形成乳浊液，不仅影响泵油运用寿命也使极限压力变坏。