1. 分子泵的开启，为什么开始抽真空不能直接开动分子泵？

答：分子泵是依靠大量叶片旋转，将动能传给气体分子，是气体分子获得动能，来达到抽真空效果。只能在高真空下才能正常工作，正常启动需要真空度达到5Pa以下

2. 为什么分子泵不能直接在大气压下工作？

分子泵是一种机械式增压泵。通过动翼将分子流导入，再通过静翼阻止气体分子的返流，如此将气体分子进行层层压缩，达到抽气效果。分子泵需要前级泵将压力抽至几十Pa时才能启动工作，如果直接暴露在大气压下会导致泵内压力过高，从而碎泵。

3. 请问抽真空时，分子泵控制面板主抽和旁抽有什么区别，作用？

主抽应该是指分子泵，旁抽估计是预抽，因为分子泵需要预真空。把控制面板图发上来看一看。

4. 当分子泵的前级机械泵的上限为1，为什么会抽到0.1

全压力：单级油封机械泵，极限能进入10的零次数量级，双级油封机械泵，极限能进入10的负1数量级。

5. 分子泵不设置上下限是不是会尽可能抽到10-4左右？

分子泵极限能进入10的负6到负8数量级，带管道和容器后要看具体情况，比如放气量和漏气量

6. 为什么启动分子泵时，真空度反而变差了？

分子泵一般很快就达到100%的转速，在分子泵启动开始后也有真空度一段时间真空会变差一些，大致过一段时间真空度慢慢降低。

低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

7. 分子泵和机械泵同时对腔室抽真空,会有什么后果？

是串联还是并联，串联的话真空度会变高流量没啥变化，并联的话流量有变化真空度还是分子泵的真空度。机械泵要先开，不然分子泵要炸机的。

8. 分子泵为什么不能抽低真空？

分子泵转速在2-3万转并且叶扇加工的非常精密，动叶扇与静叶扇之间的间隙很小，如果在高速运转的情况下直接抽大气，叶扇承受不了空气的猛烈冲击，很容易造成叶扇绞碎而达到报废之功效。

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