按压力等级来分，真空类型分为低真空，中真空，高真空以及超高真空（UHV）。其中通常认为压力在以下的真空被称为超高真空。这也就是说单位体积内的分子数，只有正常大气压的1/1,000,000,000,000。

在表面研究、热核反应、半导体研究、空间模拟等这些领域中，对真空的需求就会进入到超高真空范围，其工作极限压力一般介于10-6～10-10Pa之间，最高的可能会达到10-12Pa。那这些超高真空应用所需的真空条件需要用哪些抽气系统实现呢，大家一起来了解下。

超高真空系统类型有几种：

①用扩散泵和钛泵并联为主泵，扩散泵单2113独串联前级机械泵的真空系5261统。
②由扩散泵串联扩散泵（中间泵），再串联机械泵的真空4102系统。
③主泵为分子泵串联机械泵的真空系统，串联分子筛吸附泵（前级泵），则构成了无油超高1653真空系统。
④用钛泵或溅射离子泵做为主泵，并联专或串联分子筛吸附泵（做为预真空泵），构成无油超高真空系统。属
⑤用低温泵做为主泵，串联或并联分子筛吸附泵（预真空泵），构成无油超高真空系统。

首先是扩散泵系统。它由扩散泵串联机械泵以及冷阱等系统构成。扩散泵系统是获得超高真空的重要泵种，但是在获得超高真空的过程中要解决来自扩散泵油、机械泵油的返流污染以及油热分解产生的气体返流。其中泵油返流可以通过液氮冷阱来捕集，而泵油分解产生的气体需要用钛升华阱来捕集。污染控制较好的扩散泵系统，可以得到10-10Pa的真空度。

涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统，不烘烤可以实现10-6Pa的真空度，经烘烤可以达到10-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵，降低前级管道中的氢分压，配合钛升华阱可以获得高于10-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大，因此烘烤除气是非常必要的，但烘烤温度一般只允许到100℃左右。

溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行彻底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。

低温泵抽气系统。低温泵抽气系统用低温泵作为主泵，并联或串联分子筛吸附泵，也可以用机械泵作为预抽真空泵，但若是油封机械泵就必须在机械泵的入口管路上设置油蒸气捕集器。低温泵抽气系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片以及自身带来的气体污染，是一种清洁的抽气手段。20K的低温泵可以得到10-8Pa的真空度，4.2K的低温泵可以得到10-10～10-12Pa的真空度。

组合超高真空系统。给出了又一种型式的组合超高真空系统。该系统适合于真空封接炉、钽片炉等设备。系统的主泵为溅射离子泵—钛升华泵组。真空室极限真空可达到5×10-7Pa。系统配有油扩散泵-机械泵组成的机组,用来粗抽和作为主泵的预抽泵,同时能抽走工艺过程中放出来的大量气体。

除了上述这些，根据不同的应用需要与特点，也可以通过组合系统来实现更细致的需求。

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