真空系统其实就是真空机组的一个类似的称呼，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，它不见得有一些诸如散热器，冷凝器等等设备存在。而一般能称为真空系统的肯定是各种零部件齐全。真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统。

真空系统要满足真空生产要求，除了性能达标的真空泵设备以及良好的管路流导，还需要保证系统结构中材料的可靠密封、放气性能等等。因此在结构设计建设过程中，要注意以下十个方面：

一、结构材料选择标准的无缝钢管和板材，减少焊接结构，提高真空部件的气密性。对于需要进行焊接结构的系统元件，应针对性的选择焊接性能好的钢材。

二、合理设计焊接结构，提高焊接工艺质量。焊接是真空系统建设过程中的一道重要工序，焊接结构要避免处于真空中的焊缝有污物积存的空隙。如果出现污物积存或空隙，不仅会给清洗造成困难，还会成为真空系统中缓慢放气的气源。如果焊缝出现死空间，就会成为难以找到漏隙所在。

三、避免出现隔离孔穴（气袋），或为其开设出气孔，便于快速抽真空。气袋会成为缓慢放气的源泉，增长了抽气时间。

四、最好能对真空系统内的构件及内壁进行电镀抛光、氧化处理等，减少表面放气。不同的真空环境对内壁粗糙度的要求也不相同，原则上要求处于真空系统内的构件和壳体内壁表面是越光洁越好（一般高真空的内壁粗糙度Ra为6.3～3.2；中真空的内壁粗糙度Ra为12.5左右；超高真空的内壁要求抛光，达到非常光洁的表面。另外需要注意，生锈的金属表面对抽真空十分不利。

五、法兰连接先焊接后加工，保证尺寸、粗糙度要求以及气密性。焊接时容易引起法兰变形，因此目前国内都采用焊接后再对法兰加工，这样既可达到尺寸和粗糙度的要求，又能保证两个法兰连接时密封可靠。

六、高温度下工作的真空橡胶密封圈，可采用水冷结构加以保护，防止部件部件损坏或寿命变短。

七、真空系统元件及真空室壳体器壁需满足一定厚度，以满足其有足够的强度保证不会在内力外力作用下发生变形（满足内外部打压，3个大气压下不变形）。实际应用中，真空容器一般采用圆形结构较好；而端盖采用凸形结构为好。

八、保证由外部进入真空室内的转动件或移动件的动密封性能。除了选择好的密封结构外，其中的轴或杆一定要满足粗糙度要求，防止轴和杆上无轴向划痕，这种划痕会引起气体泄漏，降低系统的真空度，且不易被发现。

九、真空系统上测量规管座位置的安排应遵循如下原则：

a.不能将测量规管放在密封面较多的地方。因为每一个密封面都不可能保证绝对不漏气，密封面集中之处，必然是容易漏气的地方，测量值可能不准。

b.规管内壁各处，必须保证真空卫生，否则会造成测量不准。

c.规管应尽量接在靠近被测量的地方，以减少测量误差。

十、真空室壳体上的水套结构，要保证水流畅通无阻，更不能出现死水，造成局部过热。因此进出水管位置要一下一上，且设置流水隔层，使水沿一定的路线流动。

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