真空泵的发展趋势从十七、十八世纪迄今已经历了叁个多新世纪悠长的历史时间全过程。从初始的离心水泵刚开始发展趋势变成目前的机械泵、扩散泵、分子泵、低温泵、电离戮射泵、升化泵等数十种。真空得到工作能力也从塬先的好几百帕发展趋势到现在的高真空、极高真空行业。 泵效、物理性能和可信性等都获得令人震惊地提升。但是在真空泵的在历史上，有关到底是谁泵的开山鼻祖这个问题各抒己见，大家分别旁征博引，争吵不休。

一部分人将初次创造发明的荣誉 加进冯伯特葛利克的头顶觉得真空泵的发是他在1650年上下用液态水银管开展的真空试验造成的。另一些人却觉得初次创造发明的宝座应由伽利略来坐，明确提出伽利略曾尝试柱罐、活塞杆和作用力精确测量真空产生时的力，为真空泵确立了基本。

一、历史上有确切记载的，可以认为真空技术的历史开始于1643年。当时，托里拆利(Torricelli)将一端密封的长管注满水银并倒置在盛有Hg(汞)的槽里时，发现了密封的玻璃管中760mm水银柱顶端产生的真空。

二、真空技术的初创时期延续到电灯泡的发明。在这段时期内，在气体定律的基本原理方面，取得了重大的理论和实践的科学技术突破。如玻义耳-马里奥特，查理，盖.吕萨克，伯努利，阿佛加德罗，麦克斯韦，玻尔兹曼等人的成就。

1、玻义耳-马略特定律：它反映气体的体积随压强改变而改变的规律。对于一定质量的气体，在其温度保持不变时，它的压强和体积成反比;或者说，其压强P与它的体积V的乘积为一常量。

2、伯努利与气体分子运动论：伯努利明确地叙述了气体分子运动论，认为气体作用在容器壁上的压力，可以用大量的分子快速地来回运动来解释。

三、真空实际使用的第一个进展，是和利用真空与大气之间的压力差所产生的机械作用力联系在一起的。葛利克用一个由两个半球合成直径为119cm球体，内用真空泵抽空，在大气压力作用下在其两边各用8匹马而不能拉开的这个经典实验证明了大气的力量。(此即所谓的马德堡半球实验)。后人把这个原理用于真空邮递线和真空铁路运输。

四、爱迪生对白炽灯的研制(1879年)也是早期发明排气系统所产生的结果。(Toepler,
Sprengel)白炽灯表明了低分子密度的用途(除去大气的活性组分)。

五、麦克劳真空计(1874年)第一次使测量低压成为可能。

六、克鲁克斯(Crookes，1879)的阴极射线管是增大了的平均自由程的第一次利用。

七、而杜瓦瓶(Dewar，1893)则是真空绝热的首次使用。

八、真空二极管(1902)、三极管(1907)以及钨丝(1909)的发明，开始了电子管的研制，并使白炽灯的研制日益成熟。在白炽灯生产中使用的真空的“质量”在电子管的新领域内显得不足，这就促使真空的获得和测量得到进一步发展。

九、皮拉尼真空计、盖德、朗缪尔的汞扩散泵以及热阴极电离真空计为高真空技术的发展提供了可能。

十、高真空技术的发展一直延续到第二次世界大战前后。在1935～1936年间取得了三项新成果：气镇泵、油扩散泵以及冷阴极电离真空计。这些成果，直至现在仍是大多数真空系统的常用部件。

十一、1940年以后真空技术在核技术研究(回旋加速器、同位素分离等)，真空冶金，真空镀膜，冷冻干燥设备方面有了很大进展，如1955年机械增压泵的出现。

十二、到1950年，真空度一般能达到10-4～10-5Pa，或许达到更低的压强但还不能测量。1950年B-A真空计的出现，为测量更低的压强开辟了道路，进入超高真空领域。1953年出现的离子泵能获得更低的压强，即所谓的“清洁真空”出现。在过去的几十年间，为完成最尖端科学技术的需要，真空技术向大容量化、高真空化和高清洁化的方向发展。

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。