分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

分子泵的种类也越来越多，应用的行业也越来越多，广泛用于电子零部件、集成电路、太阳能电池、薄膜技术、高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器等方面。但还是会有一些人不太清楚分子泵的安装方法及使用注意事项，下面一起来学习下分子泵安装方法及使用注意事项!

一、安装注意事项：

①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。

③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。

⑤、确认已装入润滑油。

⑥、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；

油润滑：竖直方向±5°范围内；

脂润滑：任意角度

二、油池安装注意事项

①、拆下注油

②、油量控制

③、油池卫生，防颗粒

④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

三、进出口法兰、冷却水安装

①、泵入口：对正、对称拧紧

②、泵出口：防止错位

③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

注意：

环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

入口压强：强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

四、电缆安装注意事项

①、对正槽口插入

②、用螺母拧紧，边插边拧

③、检查到位

五、振动隔离、冲击防护

①、分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便最大可能的减少振动。

②、冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

气体振动（气量突变、压强突变）

意外振动（掉入异物、碰撞等）

注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

六、大气载、热气体、突变气载

a 引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效

1. 措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间

七、磁场屏蔽出现的问题

旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：

①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；

②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；

③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；

④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。

分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

八、分子泵启动的条件：

①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

②、启动时间：

同时启动——小系统，防前级泵油上返。

延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

九、分子泵使用注意事项：

1、分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥，电缆线正确连接并确认处于锁紧状态。

2、分子泵在通电后及正常运转时旋转体是由电磁力支撑悬浮的，请尽.量不要触碰泵体及控制器，特别是电缆线，绝对不能触碰。

3、当停止分子泵是它，请先给出停机指令( STOP)， 待分子泵减速结束，ROTATION 指示灯熄灭(液晶显示屏上显示STOP, 及转速显示为0%)，确认分子泵已经完全停止，才可以关闭电源。如需要拆卸缆线，在如前述正常停机并关掉电源后，才可以拆下缆线，分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头。

4、当遇到意外断电时，分子泵会发生报警( POWER FAILURE )， 此时分子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态，同时减速运行( BRAKE )， 在减速到一定转速时，自发电停止，旋转体掉落( TOUGHDOWN)，由保护轴承支撑继续旋转减速直至完全停止。在分子泵旋转体掉到保护轴承时，分子泵会发出比较大的声音,这种情况是正常的。遇到意外断电时,请设法尽快恢复供电，如能在5分钟之内恢复供电，则不会发生TOUGH DOWN，旋转体会恢复悬浮状态，重新启动也可以进行。

5、当发生人为误操作导致断电时，请及时恢复供电，需要分子泵继续运转时，请按RESET按扭(按第一下，报警蜂鸣器消音，按第二下，报警复位，报警指示等熄灭)，之后给出启动( START)指令。

6、分子泵正常运转时，请尽量避免在泵体及控制器附近施加比较大的或是频繁的震动，避免冲击钻作业和任何会产生较大磁场的作业。

7、每日点检分子泵及控制器的运行状况，检查真空度和冷却水状况。