罗茨式真空泵(简称罗茨泵)是利用两个8字形转子在泵壳中旋转而产生吸气和排气作用的。由于它在低压力范围内工作,气体分子自由程较大,气体通过微小缝隙的阻力很大,因而能获得较高的压缩比,可以作为增压真空泵使用。罗茨真空泵的功能就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使它达到最大要求的真空度。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到最佳配置, 选择真空系统时,应考虑下述几点:
一、 被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,罗茨真空泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
二、 真空度
真空度是决定产品采用何种结构,真空度是有表压及绝对压力这两种读数。
绝对压力表示读数是绝对值,即读数越靠近‘0’,真空度就越高。但反观表压,越接近760mmhɡ即表示真空度越高,假若你所要求的绝对压力(极限真空)是靠近‘0’,那么只有真空泵才可以满足这个需求,但假若需求是靠近1bar(即大 气压力),那么便可以选用罗茨风机或离心风机来满足这个需求。
三、确定工作罗茨真空范围
必须确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,要认真研究确定适合这样工艺的真空是怎样的。
四、真空容积检查
确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻,泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
五、确定极限真空度
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查罗茨真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。
六、设备使用条件问题
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