爱德华真空泵iXL120，爱德华真空泵iXL120E,iXL120N,iXL120，适用于半导体和太阳能应用的小型iXL干泵，iXL120：紧凑型低能量的110 m3/h干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本，有助于保护环境。

一流的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间最多减少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
极小且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间

适用于严苛应用的大型 iXL 干泵

iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的最小且最安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

一流的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间最多减少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间

适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP

IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时最大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。

适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。

3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP™ 的 插入式替换部件