爱德华真空泵iH1800,爱德华螺杆真空泵系列,IH1800/IH1800HTX系列是爱德华半导体螺杆干泵系列里面的高抽速真空设备,这种设备维护很少,几乎可以做到三年零维护,随时现场维修爱德华真空泵IH系列,GX系列,IGX系列干泵。
我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
爱德华螺杆真空泵IH1800订货号:
iH1800 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59040908
iH1800 干式泵 200/208V,60 Hz,3 相
A59040945
iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59040946
iH1800 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59040957
iH1800 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59060945
爱德华螺杆真空泵IX1800产品功能与优势:
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
性能参数:
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
东莞市品雅真空设备有限公司专业维修销售爱德华螺杆真空泵IH1800/IH1800HTX系列产品,该产品广泛使用在中国高新产业里面,在光伏,半导体,航天航空,医药行业广泛使用。
爱德华螺杆真空泵IH1800HTX订货号:
iH1800HTX 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59042908
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59042945
iH1800HTX 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59042946
iH1800HTX 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59062945