爱德华真空泵EH系列，Edwards EH 机械增压泵采用独特的液力驱动，可实现高效的动力传送，在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合，这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动，从而减少总体抽气时间。

防爆型机械增压泵已经过鉴定，可以在潜在易爆气体环境中使用。

EH250C 机械增压泵已经过鉴定，可用于 CSA Division 1 区域、气体 Class I、Group C D 和灰尘 Class II Group F G、温度 Class T3C。泵的温度分类基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的临界前级压力下保持的泵出气口压力。

防爆型机械增压泵可能配备防爆型电机，或作为防爆型系统的一部分供货。请咨询 Edwards。

爱德华真空泵EH系列应用
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光

爱德华真空泵EH系列功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。